Single layer graphene on wafer
Silicon wafer
¡á Graphene layer - single
¡á Wafer - P(Boron) 0.01~0.02 ohm
¡á Oxide - 2000A
Quartz wafer
¡á Material : Fused Silicia
¡á Grade : UV Grade
¡á TTV (Total Thickness Variation) : ¡¾ 10§¡
¡á RA (10¡Ê), Double Side Polishing
Glass wafer
¡á PYREX¢ç Glass
¡á TTV (Total Thickness Variation) : ¡¾ 10§¡
¡á Bow (¡¾ 30§¡), RA(15¡Ê)
¡á Double Side Polishing (DSP)
¡á Graphene layer - single
¡á Wafer - P(Boron) 0.01~0.02 ohm
¡á Oxide - 2000A
Quartz wafer
¡á Material : Fused Silicia
¡á Grade : UV Grade
¡á TTV (Total Thickness Variation) : ¡¾ 10§¡
¡á RA (10¡Ê), Double Side Polishing
Glass wafer
¡á PYREX¢ç Glass
¡á TTV (Total Thickness Variation) : ¡¾ 10§¡
¡á Bow (¡¾ 30§¡), RA(15¡Ê)
¡á Double Side Polishing (DSP)